双频CCP鞘层中尘埃粒子特性的多维度解析与前沿探索.docx

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2025-10-13 发布于上海
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双频CCP鞘层中尘埃粒子特性的多维度解析与前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

尘埃等离子体作为一种特殊的等离子体，广泛存在于宇宙空间、工业生产以及实验室环境中，对多个领域的研究与应用产生着深远影响。在浩瀚的宇宙中，星际云、行星环、太阳系等天体环境中都存在着尘埃等离子体，其中的尘埃颗粒在天体演化、物质循环等过程中扮演着关键角色。例如，在星际空间中，尘埃颗粒是新恒星和行星形成的重要物质基础，它们参与了物质的聚集和化学反应，对天体的诞生和发展起到了不可或缺的作用。而在工业生产领域，如半导体芯片加工、等离子体刻蚀、化学气相沉积等工艺过程中，尘埃粒子的存在却可能带来诸多问题。在半导体芯片制造过