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2025至2030中国等离子体蚀刻系统行业深度研究及发展前景投资评估分析
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状与市场分析 3
1、市场规模与增长态势 3
细分产品市场(ICP/CCP)需求结构及技术路线占比 3
2、产业链配套成熟度 5
核心零部件(射频电源、气路系统)国产化率现状及技术瓶颈 5
本土企业与海外龙头在5nm以下制程的技术代差对比 5
晶圆厂扩产对蚀刻设备采购的拉动效应及产能利用率分析 6
3、政策环境支持力度 7
地方性产业基金对蚀刻系统研发的专项支持案例 7
进口替代政策对本土企业订单转化的实际影响
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