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MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-1
1仪器功能
MOScleanbench1，位于净化室内的刻蚀区，主要用于湿法清洗，该通风橱配有
Piranha加热清洗槽、HF清洗槽和QDR（快排冲洗）。
2样品材料要求
通风橱配备有6寸和4寸花篮，分别可放置6寸和4寸硅片；小样品可以使用小
花篮。
本区域内允许使用的化学品为：HSO,HO,HF
2422
3设备培训和参
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