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第1页，共38页，星期日，2025年，2月5日真空是指在给定空间内低于1标准大气压的气体状态。在真空技术中，真空度用绝对压强的大小表示，气体压强低，表示真空度高，反之则低。习惯上常把真空度分为粗真空1.01×105～1.33×103Pa低真空1.33×103～1.33×10-1Pa高真空1.33×10-1～1.33×10-6Pa超高真空1.33×10-6～1.33×10-10Pa极高真空1.3×10-10Pa4高压、真空技术第2页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术获得其空的过程俗称“抽真空”，其主要方法是在工作系统中用泵抽气。辅助措施:安置冷阱并放吸附剂以一个大气压开始抽气的泵叫前级泵，低于一个大气压才能抽气的叫次级泵，次级泵开始工作的气压称为预备真空或前级真空。抽气速率：在规定气压下单位时间抽出的气体体积。极限真空度：真空泵进气口处在不接任何容器的情况下，经充分抽气后所能达到的最低气压。4.1真空的获得及设备第3页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术真空泵可分为机械真空泵、蒸汽流泵和高真空机组。其工作原理各异，应用范围也不相同。4.1真空的获得及设备机械真空泵包括旋片式、润滑式机械真空泵、机械增压泵、分子泵等，在冶金生产和科研中以旋片式机械泵应用最广。4.1.1机械真空泵第4页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术（1）旋片式机械真空泵其结构如图3-3所示。整个泵体浸在机械泵油中，转子紧贴在定子圆柱形空腔的上部和空腔不同轴，转子通过轴由电动机带动并在空腔内转动。为了提高抽气效果，常将两个泵搭配在一起。在结构上这两个泵是串联的，这样就可获得更高的真空度。如国产2X-2型，型号中第一个“2”表示两级，X表示旋片式，第二个“2”表示抽速。该泵属低真空泵，可单独或做前级泵用。4.1真空的获得及设备第5页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术4.1真空的获得及设备图4-1旋片式机械泵结构1-排气管；2-进气管；3-外壳；4-排气阀5-真空泵油；6-定子；7-转子；8-翼片；9-弹簧第6页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术4.1真空的获得及设备表4-22X型旋片式机械泵性能表 型号参数2X-0.22X-0.52X-12X-22X-42X-82X-152X-302X-70在1大气压时抽气速度，L/s0.20.52248153070极限真空度，Pa6.665×10-2转速，rpm500500500450450320320315300配用功率，KW0.120.180.250.400.601.12.247.5进气口径，mm101012162250506380排气口径，mm810101616505065100用油量，L0.160.250.450.71.02.02.84035.2第7页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术（2）机械增压泵（罗茨真空泵）该种泵由两个“8”形转子在定子内旋转，形成容积重复变化，达到吸气排气目的。其工作过程如图3-5所示。由于转子与转子之间，转子与泵体之间不接触，因而无摩擦，转速很高，因此这种泵抽速大、体积小、噪音低、驱动功率小，启动快，在冶金生产和科研中应用很广泛。在100～1Pa真空度下，其抽速较大。它也可在大型机组中作为前级泵配套使用，极限真空度可达0.01Pa。4.1真空的获得及设备第8页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术4.1真空的获得及设备图4-2罗茨真空泵的抽气过程a、b、c—进气和排气顺序第9页，共38页，星期日，2025年，2月5日4高压、真空技术（2）往复式真空泵该泵属粗真空设备，运转时通过曲轴与连杆的作用，使气缸内的活塞做往复运动。活塞的一端接待抽系统，另一端通过气阀使气体进入气阀箱再排入大气，整个进排气循环过程中，活