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中国半导体设备国产化率提升策略与产业生态构建分析报告.docx

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    中国半导体设备国产化率提升策略与产业生态构建分析报告

    一、中国半导体设备国产化率提升策略与产业生态构建分析报告

    1.1政策支持

    1.1.1国家层面

    1.1.2地方政府

    1.2技术创新

    1.2.1企业研发投入

    1.2.2产学研合作

    1.3产业链协同

    1.3.1产业链上下游合作

    1.3.2产业集群

    1.4人才培养与引进

    1.4.1人才培养

    1.4.2人才引进

    1.5国际合作与交流

    1.5.1国际合作

    1.5.2国际交流

    二、技术创新与国产半导体设备发展

    2.1关键技术研发

    2.1.1光刻机技术

    2.1.2刻蚀机技术

    2.1.3抛光机技术

    2.2产业链协同创新

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