中空纤维膜接触器脱除水中溶解氧：性能、机制与应用前景.docx

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2025-10-09 发布于上海
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中空纤维膜接触器脱除水中溶解氧：性能、机制与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1水中溶解氧对工业生产及环境的影响

在众多工业生产领域，水中溶解氧含量对产品质量和生产过程有着举足轻重的影响。以半导体制造为例，超纯水作为微电子行业的关键工艺用水，被广泛应用于各个制程前后的湿法清洗环节，其水质纯净度直接关系到产品良率和设备性能。然而，溶解氧是半导体超纯水中的重大隐患，硅晶圆和铜互连等关键部件极易受到氧化腐蚀，溶解氧是导致这种腐蚀的主要因素之一，会引发硅晶圆热氧化，进而影响集成电路的性能和可靠性，因此严格控制超纯水中的溶解氧含量对提高半导体产品质量和良率意义重大。在食品行业，溶解