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半导体产业技术创新路线图制定报告：2025年技术发展方向与规划.docx

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    半导体产业技术创新路线图制定报告：2025年技术发展方向与规划

    一、半导体产业技术创新路线图制定报告：2025年技术发展方向与规划

    1.1技术创新背景

    1.2技术创新路线图制定目的

    1.3技术创新路线图制定原则

    1.4技术创新路线图制定内容

    1.4.1半导体材料技术

    1.4.2半导体器件技术

    1.4.3半导体制造技术

    1.4.4半导体封装技术

    二、半导体材料技术发展趋势与重点

    2.1高性能硅材料研发

    2.2新型半导体材料研发

    2.3纳米材料研发

    2.4高性能封装材料研发

    2.5材料制备工艺优化

    三、半导体器件技术发展趋势与重点

    3.1高性能集成电路设计

    3.2存储

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