相移显微干涉技术：解锁薄膜应力梯度测量的新视角.docx

下载文档

0
0
约3.14万字
约 34页
2025-09-29 发布于上海
举报
版权申诉
保障服务

相移显微干涉技术：解锁薄膜应力梯度测量的新视角.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

相移显微干涉技术：解锁薄膜应力梯度测量的新视角

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，薄膜材料凭借其独特的物理化学性质，在电子、光学、机械、航空航天等众多领域都得到了广泛应用。在电子领域，薄膜被用于制造集成电路、传感器等关键部件，对电子设备的小型化、高性能化起着重要作用；在光学领域，薄膜可用于制备光学镜片的增透膜、反射膜，以提高光学系统的性能；在航空航天领域，薄膜材料则被应用于飞行器的热防护系统、结构部件等，对减轻飞行器重量、提升飞行性能意义重大。

薄膜应力是影响薄膜性能的关键因素之一。当薄膜沉积在基底上时，由于薄膜与基底材料的热膨胀系数差异、原子排列方式不同以及薄膜生