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中国半导体设备国产化率2025年提升路径与产业技术创新研究.docx

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    中国半导体设备国产化率2025年提升路径与产业技术创新研究参考模板

    一、中国半导体设备国产化率2025年提升路径与产业技术创新研究

    1.1提升路径

    1.1.1加大政策支持力度

    1.1.2完善产业链布局

    1.1.3优化市场环境

    1.1.4培养专业人才

    1.2产业技术创新

    1.2.1技术创新

    1.2.2工艺创新

    1.2.3材料创新

    1.2.4服务创新

    二、半导体设备国产化率提升的关键技术突破

    2.1光刻设备技术突破

    2.1.1提高光源技术

    2.1.2提升光刻机性能

    2.1.3优化光刻胶技术

    2.2刻蚀设备技术突破

    2.2.1提高刻蚀精度

    2.2.2优化刻蚀工艺

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