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世源科技工程有限公司
技术规格书
章号：11500
标题：化学品供应系统
版次：A
建设单位：北京超弦存储器研究院
项目名称：特色工艺实验室工程项目
编制人审核审定批准人
二○二四年三月
技术规格书
第一部份–通则
1.1工作范围
A.本章将说明设计、制造、送交、安装、启动、验证与保证现场独立式化学品供应
配送系统（本章以下简称本系统）之效能。
B.单一承包商(本文中简称包商)应完全负责提供、安装与启动本系统。包商应对项
目符合性尽完全之责任，并应与本合约现场施工中之其他包商进行协调工作，以
准时完成本系统工程。
1.2相关工程
A.本章应配合“包定义文件”和本“技术规格说明书”所列的所有其他规范与相关
合约文件共同使用以建立本系统所有要求。
1.GB50016-2014建筑设计防火规范
2.GBZ1-2002工业企业设计卫生标准
3.GB50316-2000工业金属管道设计规范（2008版）
4.中华人民共和国国务院令（第373号）特种设备安全监察条例
5.TSGR1001-2008压力容器压力管道设计许可规则
6.GB/T20801-2006压力管道规范工业管道
7.GB150-1998钢制压力容器
8.GB12158-1990防止静电事故通用导则
9.GB50058-2014爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范
10.GB50073-2013洁净厂房设计规范
11.GB50472-2008电子工业洁净厂房设计规范
12.GB50084-2001自动喷水灭火系统设计规范
13.HG20660-2000压力容器中化学介质毒性危害和爆炸危险程度分类表
14.GB7231-2003工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识
15.GB50981-2014建筑机电工程抗震设计规范
16.GB50781-2012电子工厂化学品系统工程技术规范
17.SEMI相关规范
章号：11500第1页
技术规格书
B.当本章所述系统要求与其他章节所述者出现不符情事者，包商须提出差异之处并
提出正确作法，业主有最终的决定权。
C.得标厂商若因其他因素无法使用注明的厂牌或变更厂牌需经送审审核及业主同
意。
1.3系统说明
A.包商须提供人力根据本章所提出工程范围进行设计、制造、安装与验证，整体套
图后，图面需送审给业主确认始可施作。
B.在水、电、气、化学及排气系统中，均会在系统附近设置一主要连接点，包商须
自行与化学系统作连接。
C.系统范围应包含以下各系统：
1.酸类化学品，包括：
a.酸类供应系统种类包括：MDU(ModuleDispenseUnit)、DMDU(Dilute
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