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纳米压印光刻技术在新型纳米薄膜材料制造中的应用研究.docx

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    纳米压印光刻技术在新型纳米薄膜材料制造中的应用研究模板范文

    一、纳米压印光刻技术概述

    1.1纳米压印光刻技术的基本原理

    1.2纳米压印光刻技术的特点

    1.3纳米压印光刻技术的应用

    1.3.1光学薄膜

    1.3.2薄膜太阳能电池

    1.3.3薄膜晶体管

    1.3.4薄膜传感器

    二、纳米压印光刻技术关键工艺及其优化

    2.1纳米压印光刻技术的工艺流程

    2.1.1模板制备

    2.1.2对准与接触

    2.1.3图案转移

    2.1.4后续处理

    2.2纳米压印光刻技术的工艺优化

    2.2.1模板优化

    2.2.2接触工艺优化

    2.2.3图案转移工艺优化

    2.2.4后续处理优化

    三、纳米压印

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