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理论，研发／设计／制造

微磨料气射流成形加工表面粗糙度的研究

李全来

北京工商大学材料与机械工程学院，北京100048)

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摘要：通过微磨料气射流成形加工玻璃试验，研究了工艺参数及其交互作用对加工表面粗糙度的影响，建立了表面粗

糙度的回归模型。结果表明，气压对表面粗糙度的影响最显著，其次是靶距和喷嘴横移速度的交互作用、气压和靶距的

交互作用以及靶距，而气压和喷嘴横移速度的交互作用、喷嘴横移速度对表面粗糙度的影响相对较小。表面粗糙度随着

气压的增加而增大，随着靶距和喷嘴横移速度的增加先减小后增大。选用中低气压和较大靶距的组合有利于降低表面

粗糙度。方差分析和残差检验的结果表明回归模型可以有效地预测表面粗糙度。

关键词：微磨料气射流：表面粗糙度工艺参数；交互作用：回归模型

中图分类号：TG664文献标志码：A文章编号：1002—2333(2014)12—0007—04

Ⅲ一

0引言术一直迅速发展。

微磨料气射流成形加一技术是20世纪90年代在传表面粗糙度是衡量微磨料气射流加一r表面质量重要

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统喷砂加llI技术的壤础l发展起来的一种新型微细加工指标之一，在微机电系统中它影响零件微尺度的粘附性；

技术、它用微细磨料与高速气流混合而形成的气两相在光电子器件中它对光的散射惟有重要影响；在生物芯

流作为1作介质，对【件进行大角度喷射，依靠射流产生片领域它影响生化分离效率、电渗透迁移率和溶质弥散

的冲蚀作用去除1：件材料，加T}IJ微小结构。它具有热影率。因此，近年来l内外许多学者对微瞵料气射流J；tl-E的

响区小、加1时切削力小、T艺适应性强、加K效率高等表面粗糙度进行了火量的研究侯永振研究了抛光工

优势它不仅可以加工传统脆、塑性材料，还可以加1一现艺参数对石英晶体表而粗糙度的影响，结果表明，随着气

代复合材料．尤其适合加一r玻璃、石英、硅片等硬脆材料。压的增加，表面粗糙度先减小后增加，随着射流角度和喷

因此，自20世纪90年代以来，微磨料气射流成形加_r技嘴横移速度的增加而增大．随着靶距和嘻料流量的增加

基金项目：北京市教育委员会科技发展计划面上项目而先增大后减小。rsai。用表丽涂蜡的碳化硅磨料抛光

(KM2013IO01l003)SKD6l模具钢，结果表明涂蜡后磨料的棱角减小，_JJl1T表

M]／／ZhangH．C．Advane(dToleraneingTechniques．Wiley，[7]lJPeK．(；ossardDC．Ahierarchi(’aldatastIO(’lulP‘“lrrepresenting

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