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热压印成型技术的升温策略与等温工艺优化研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在当今科技飞速发展的时代,微纳制造领域作为众多高新技术的基础,正不断推动着电子、光学、生物医学等多个关键领域的进步。在众多微纳制造技术中,热压印成型技术凭借其独特的优势,如高精度、低成本、可批量生产等,逐渐崭露头角,成为微纳制造领域的关键技术之一。
热压印成型技术的原理是利用模具将微纳结构复制到热塑性材料上,通过加热使材料软化,在压力作用下填充模具型腔,冷却后固化成型,从而实现微纳结构的精确复制。这一技术的出现,为微纳结构的制造提供了一种高效、经济的方法,在微机电系统(MEMS)、微光学元件、生物芯片等领域有着广泛的
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