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基于条纹边缘特征ESPCM的直线电机动子位置测量方法的创新与实践.docx

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    基于条纹边缘特征ESPCM的直线电机

    动子位置测量方法的创新与实践

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    在现代工业自动化进程中，直线电机凭借其独特优势，逐渐成为关键的驱动装置，在诸多领域

    发挥着不可或缺的作用。直线电机能将电能直接转化为直线运动机械能，摒弃了中间传动环

    节，这使其具备响应速度快、定位精度高、结构紧凑等显著特点。在半导体制造领域，直线电

    机驱动的光刻机工作台，可实现纳米级别的高精度定位，确保芯片制造的精细度；在高速列车

    领域，直线电机为列车提供强大动力，使其运行速度大幅提升，满足现代交通的高效需求

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