1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 设备维修与保养

半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书.docx

半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书.docx

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书模板

    一、：半导体设备维护智能化升级关键技术白皮书

    1.1引言

    1.2行业背景

    1.3智能化升级的意义

    1.4技术路线

    二、半导体设备维护智能化升级的关键技术

    2.1数据采集与处理技术

    2.1.1传感器技术

    2.1.2数据采集系统

    2.1.3数据处理算法

    2.2故障诊断与预测技术

    2.2.1基于知识的诊断

    2.2.2基于模型的诊断

    2.2.3基于数据的诊断

    2.3维护策略优化技术

    2.3.1预防性维护

    2.3.2预测性维护

    2.3.3基于状态的维护

    2.4远程维护与监控技术

    2.4.1远程数据传输

    2.4.2远程控制

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    恋慕如斯 + 关注
    官方认证
    内容提供者

    该用户很懒，什么也没介绍

    咨询Ta 进入空间
    版权声明书
    用户编号：7066120125000023
    认证主体 武汉市青山区星存网络服务中心（个体工商户）
    IP属地北京
    统一社会信用代码/组织机构代码
    92420107MAEQFFLB29

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >