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2025年半导体设备研发关键工艺技术与创新应用.docx

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    2025年半导体设备研发关键工艺技术与创新应用模板

    一、2025年半导体设备研发关键工艺技术与创新应用概述

    1.1技术发展趋势

    1.1.1先进制程技术

    1.1.2封装技术

    1.1.3材料创新

    1.2关键工艺技术

    1.2.1光刻技术

    1.2.2蚀刻技术

    1.2.3清洗技术

    1.3创新应用

    1.3.1人工智能与半导体设备

    1.3.2物联网与半导体设备

    1.3.3绿色环保与半导体设备

    二、先进制程技术：挑战与机遇并存

    2.1极紫外光（EUV）光刻技术

    2.1.1突破摩尔定律的瓶颈

    2.1.2EUV光刻技术的挑战

    2.1.3我国EUV光刻技术的进展

    2.2双极性光刻技

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