《液氩生产技术要求》（征求意见稿）.pdfVIP

T/CAQIXXX—2025

液氩生产技术要求

1范围

本文件规定了液氩生产系统、技术要求、试验方法、检验与判定规则等内容。

本文件适用于液氩的生产活动。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用

文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）

适用于本文件。

GB/T4842氩

GB/T16945电子工业用气体氩

JB/T8942氩提取设备

3术语和定义

GB/T4842界定的术语和定义适用于本文件。

4生产系统

4.1系统组成

4.1.1液氩生产系统组成

液氩生产系统组成由下列设备组成。

a）原料气源：为液氩生产提供气态氩气，常见的气源为压缩空气。

b）空气分离装置（ASU）：利用低温分离技术将空气中的氮、氧、氩等气体分离，产出高纯度

氩气。

c）冷却系统：使用制冷机组通过压缩、冷凝等物理过程降低气体温度，液化气体。

d）精馏塔：通过多次蒸馏分离氩气与其他气体（包括氧、氮）混合物，实现高纯度液氩的分离。

e）气液分离器：高效分离空气中的各类气体。

f）储罐：通过低温储罐存储液氩，保证液氩产品的质量与数量。

4.1.2空分全精馏

空分全精馏是液氩生产系统中的关键环节，其主要功能是通过低温精馏技术，将空气中的氮、

氧、氩等气体进行高效分离，提取高纯度的氩气。该过程通常采用多级精馏塔，利用不同气体在低

温下的沸点差异，实现氩气的高纯度提取。空分全精馏系统应具备以下特点。

a）高分离效率：能够有效分离氮、氧、氩等气体，确保氩气纯度不低于99.95%。

b）低温操作：操作温度通常低于-180℃。

c）自动化控制：配备先进的自动化控制系统，实时监控精馏塔的操作参数（如温度、压力、流

量等）。

4.1.3氩回收

氩回收是液氩生产系统中的一个重要环节，其目的是从生产过程中产生的废气或废液中回收氩

气，以提高氩气的利用率，降低生产成本。氩回收系统通常包括以下组成部分。

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a）废气收集装置：用于收集生产过程中产生的含氩废气。

b）预处理设备：对收集的废气进行预处理，去除其中的杂质（如水分、二氧化碳、固体颗粒物

等），以提高回收效率。

c）回收塔：通过精馏或其他分离技术，从废气中提取氩气。回收塔的设计应根据废气中氩气的

浓度和回收要求进行优化。

d）后处理设备：对回收的氩气进行进一步提纯和处理，确保其纯度符合生产要求。

e）控制系统：配备自动化控制系统，实时监控回收过程中的各项参数，确保回收效率和产品质

量。

4.2系统功能

液氩生产系统功能如下：

a）气体分离功能：高效分离空气中的各类气体，确保氩气的纯度符合GB/T4842的要求。

b）液化功能：通过冷却与压缩，将气态氩转化为液态，满足不同场景使用需求。

c）罐装功能：液氩生产系统应具备罐装功能，确保液氩能够安全、高效地充装至专用容器中。

d）储存与运输功能：通过液氩储罐及运输车，确保液氩的安全存储与运输。

5技术要求

5.1原料气源

生产液氩的空气应满足GB/T4842的规定及下列要求。

a）含水量：≤0.02g/m³。

b）氧气含量：≤21%。

c）固体颗粒物：≤0.1mg/m³。

d）二氧化碳含量：≤400vol。

5.2气体分离

空气分离装置（ASU）应满足下列要求。

a）确保所分离的氩气的纯度不低于99.95%，其他组分的含量符合GB/T4842要求。

b）根据生产规模进行选型，通常处理能力为500Nm³/h～10000Nm³/h。

c）分离过程中采用低温冷却，空气冷却温度低于-180℃。

5.3精馏

5.3.1精馏过程

精馏塔应具备足够的分离能力，能够实现高纯度氩气与氧、氮的分离。

5.3.2塔盘数量

塔