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晶片加工工安全技术操作规程

工种：晶片加工工

时间：每日、每周、每月及每季度

一、每日操作前准备及安全检查

1.个人防护装备检查

-佩戴符合标准的防静电工作服、防静电手套、防静电鞋。

-检查个人防护装备是否完好，无破损、无污染，确保其有效性。

-佩戴护目镜、口罩，防止粉尘和化学物质飞溅。

2.设备检查

-检查晶片处理设备（如清洗机、蚀刻机、光刻机等）是否处于正常工作状态。

-检查设备的电源线、气路、水路是否连接牢固，无松动、破损。

-检查设备的防护罩、安全门是否完好，功能是否正常。

-检查设备的显示屏、指示灯是否正常，操作界面是否清晰。

3.环境检查

-检查工作区域是否整洁，无杂物、油污、积水。

-检查防静电地板是否完好，接地是否可靠。

-检查空气过滤系统是否正常工作，确保洁净室空气流通。

-检查消防设施是否完好，消防通道是否畅通。

4.化学品检查

-检查所使用的化学品（如清洗剂、蚀刻剂、光刻胶等）是否在有效期内，标签是否清晰。

-检查化学品储存柜是否密封，存放是否分类合理。

-检查化学品使用量是否充足，避免中途中断影响生产。

二、设备操作及工艺控制

1.设备启动

-按照设备操作手册规定的顺序启动设备，先开启辅助系统（如真空泵、冷却系统等），再启动主系统。

-启动后观察设备运行是否平稳，有无异常声音、振动、异味。

-检查设备参数是否与工艺要求一致，如有偏差及时调整。

2.晶片装载

-使用防静电工具（如防静电吸笔、防静电推车）搬运和放置晶片。

-检查晶片是否清洁，无划痕、污渍，无破损。

-按照工艺要求将晶片放置在载具上，确保位置准确，无重叠、滑动。

3.工艺参数设置

-根据工艺要求设置设备的温度、压力、时间、流量等参数。

-设置完成后，进行参数复核，确保无误。

-如需手动调整，必须严格按照操作手册进行，避免因操作不当导致设备损坏或晶片报废。

4.过程监控

-期间定期检查设备运行状态，观察晶片处理过程是否正常。

-关注设备报警信息，及时处理异常情况，避免问题扩大。

-记录工艺参数和设备运行数据，确保可追溯性。

5.设备停机

-按照设备操作手册规定的顺序停机，先停止主系统，再停止辅助系统。

-停机后观察设备是否完全关闭，有无残留电流。

-清理设备工作台面，将工具、备件归位。

三、化学品使用及安全管理

1.化学品领用

-?领用化学品时，必须填写领用记录，注明化学品名称、用量、用途。

-检查化学品瓶身标签是否完好，有无泄漏、腐蚀。

-使用专用工具（如滴管、移液器）取用化学品，避免污染。

2.化学品使用

-在指定的操作区域使用化学品，远离火源、热源。

-使用时必须佩戴防护装备，避免直接接触皮肤、眼睛。

-化学品使用完毕后，剩余部分必须妥善处理，不得随意丢弃。

3.化学品储存

-储存化学品时，必须分类存放，避免混放导致反应。

-储存环境必须通风良好，温度、湿度符合要求。

-定期检查化学品储存情况，发现异常及时处理。

4.泄漏处理

-如发生化学品泄漏，必须立即采取措施，防止扩散。

-小范围泄漏可使用吸附材料（如活性炭、吸水棉）进行处理。

-大范围泄漏必须报告相关部门，采取专业处理措施。

四、异常情况处理及应急预案

1.设备故障

-如设备出现故障，必须立即停机，并报告维修人员。

-不得擅自拆卸、修理设备，避免造成进一步损坏。

-维修期间，必须设置警示标志，防止他人误操作。

2.晶片损坏

-如发现晶片损坏，必须立即隔离，并报告相关部门。

-分析损坏原因，采取措施防止类似问题再次发生。

-按照规定处理损坏的晶片，不得随意丢弃。

3.火灾事故

-如发生火灾，必须立即启动应急预案，报警并疏散人员。

-使用消防设施进行灭火，避免火势扩大。

-火灾扑灭后，必须查明原因，采取防范措施。

4.化学品伤害

-如发生化学品伤害，必须立即停止接触，并采取急救措施。

-轻微伤害可进行局部清洗，严重伤害必须送医治疗。

-事故发生后，必须调查原因，采取防范措施。

五、日常维护及记录

1.设备维护

-每日对设备进行清洁，保持设备整洁。

-每周对设备进行常规检查，发现异常及时处理。

-每月对设备进行深度维护，确保设备性能稳定。

2.记录管理

-每日记录设备运行情况、工艺参数、异常情况等。

-每周汇总记录，分析生产数据，优化工艺参数。

-每月整理记录，存档备查。

3.培训及考核

-定期参加安全培训，提高安全意识和操作技能。

-参加设备操作培训，熟悉设备性能和操作方法。

-定期进行考核，确保操作符合规范要求。

六、安全意识及行为规范

1.遵守规章制度

-严格遵守公司各项安全规章制度，不得违章操作。

-遵守操作规程，不得擅自更改工艺参数。

-遵守劳动纪律，不得擅离岗位。

2.安全意识

-提高安全意识，时刻关注安全风险。

-发现安全隐患及时报告，不得隐瞒不报。

-参加安全活动，提高安