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DRIE深反应离子刻蚀技术.ppt

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    干法刻蚀工艺的类型腐蚀类型 能量 压力气体/蒸汽腐蚀 无 高

    -各向同性,化学,选择性好 (760-1torr)等离子腐蚀 10~100Watts 中

    -各向同性,化学,有选择 (100torr)反应离子腐蚀 100Watts 低

    -方向性,物理化学,有选择 (10-100mtorr)溅射腐蚀剂100~1000Watts 低

    -方向性,物理,低选择性 (~10mtorr)干法腐蚀:气体混合Chlorofluoro

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