企业管理-倒装 bump 工艺流程 SOP.pdf

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企业管理-倒装bump工艺流程SOP

一、准备阶段

1.1原材料不配件验收

晶圆检查:核对晶圆的型号、觃格,确保其符合生产要求。

检查晶圆表面是否平整、光滑,无划痕、裂纹、颗粒等缺陷。

使用显微镜对晶圆表面进行抽检,抽样比例丌低于10%。

通过原子力显微镜(AFM)检测晶圆的表面粗糙度,要求均

方根粗糙度(RMS)≤0.5nm。

基板验收:对基板的尺寸精度、平整度、电气性能进行检测。

基板的尺寸误差需控制在±0.05mm以内,平整度误差≤

0.02mm。使用数字万用表测量基板上线路的导通性和绝缘

电阻,导通电阻应符合设计要求,绝缘电阻≥100MΩ。检查

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