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边缘接触MoS2浮栅晶体管的构筑及其存储性能研究
摘要:
本文深入研究了边缘接触的MoS2浮栅晶体管(E-MoS2FG-FET)的构筑过程及其存储性能。通过先进的纳米制造技术,我们成功构建了这种晶体管,并对其电学性能进行了详尽的测试和分析。本文详细阐述了E-MoS2FG-FET的制备工艺、结构特点以及其在存储器应用中的潜在优势。
一、引言
随着微电子技术的飞速发展,二维材料在半导体器件中的应用越来越广泛。其中,MoS2因其优异的电学性能和机械性能,在晶体管领域展现出了巨大的应用潜力。特别是边缘接触的MoS2浮栅晶体管(E-MoS2FG-FET),因其高密度集成和优异的存储性能,已成为当前
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