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第39卷甘肃科技Vol.39No.6

第6期

2023年6月GansuScienceandTechnologyJun.2023

ASM2000机台机械手运行的影响因素分析

徐卫东

（南京国盛电子有限公司，江苏南京211111）

摘要：ASM2000半导体外延设备，作为世界上硅外延材料领域的主流设备，在硅片传递过程中，以“正面、非接触

式”模式，可较好地避免硅片表面缺陷的产生。在这种传递模式下，偶有硅片掉落现象发生，故障产生原因较多，造

成问题处理效率低下、复机验证流程繁等现象。为提高机械手装取片故障处理的效率及成功率，文章将从硅片传

递的工作原理开始分析，总结导致硅片掉落的可能原因，以供故障排查所用。

关键词：半导体外延设备机械手；影响因素

中图分类号：TP2

气体伯努利方程，流速越快，压强越小，而产生的压

1概述

力越小。即硅片背面的压力大于上表面的压力，当

ASM2000外延设备，提供比较先进的集成电路外压力足够大时，硅片便被“吸起来”了。同样，根据气

延技术,某些方面达到世界上必威体育精装版技术发展的工艺体伯努利原理，通过控制吸盘上各方向的气体流速，

水平。在硅片传递过程中，采用“正面、非接触式”使硅片产生向吸盘脚方向的力，最终硅片稳定在吸

模式，较好地避免了硅片表面缺陷的产生。但是，在盘脚处，通过机械手臂进行自动传送

这种传递模式下，偶有发生硅片掉落现象。该现象具体分析在吸盘取片过程中硅片的受力情况，

通常发生在机械手传递腔处（图1）。为了提高掉片设定吸盘对硅片的吸力为F吸，硅片重力为G，吸盘

故障处理的效率及成功率，提升机台的标准化程脚对硅片作用力为F脚,硅片受到阻力为F阻，如图2

度，保障产品的一致性，优化设备参数，提升机台的所示。

可靠性和稳定性②，文章将从硅片传递的工作原理硅片能够被吸起来,则要求：F吸G+F脚+F阻

1（1)

开始分析，总结导致硅片掉落的可能原因，供故障吸盘吸力

排查所用。

吸盘脚对硅片的

作用力

阻力

重力

图2硅片受力示意图

3硅片掉落的可能原因分析

图1机械手传递腔区域

根据式（1），从4个方面分析硅片掉落的可能原

2吸盘取片工作原理介绍

因：

ASM2000外延设备通过吸盘实现硅片的自动传(1）吸盘吸力变小；

递。硅片传递过程中，吸盘利用气体伯努利原理在(2）外界阻力变大；

硅片正面，没有直接接触的情况下将硅片“吸起来”。（3）吸盘脚作用力异常