《电子级硅烷气》.pdfVIP

ICS71.100.20

CCSG86

/EJCCCSE

团体标准

T/EJCCCSEXXX—2025

电子级硅烷气

Electrongradesilanegas

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2025-XX-XX发布2025-XX-XX实施

中国商业股份制企业经济联合会  发布

T/EJCCCSEXXX—2025

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4技术要求1

5试验方法2

5.1总则2

5.2硅烷纯度2

5.3尾气处理措施2

5.4氢、氧+氩、氮、甲烷、烃(C2～C4)、一氧化碳、二氧化碳、氯硅烷和乙硅烷含量的测定...2

5.5水含量的测定3

5.6金属及其他元素含量的测定3

6检验规则4

6.1检验分类4

6.2检验项目4

6.3出厂检验5

6.4型式检验5

6.5判定规则5

6.6复检规则5

7标志、包装、运输与贮存5

7.1标志5

7.2包装6

7.3运输6

7.4贮存6

附录A（资料性）硅烷中金属及其他元素含量测定的吸收装置图7

附录B（资料性）硅烷的基本物理化学数据8

I

T/EJCCCSEXXX—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由××××提出。

本文件由中国商业股份制企业经济联合会归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

II

T/EJCCCSEXXX—2025

电子级硅烷气

1范围

本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。

本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积

等工艺所用的电子级硅烷气。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分：电解法

GB/T7144气瓶颜色标志