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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN110581119B(45)授权公告日2025.04.08
(21)申请号201910479544.3
(22)申请日2019.06.03
(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110581119A
(43)申请公布日2019.12.17
(30)优先权数据
10-2018-00660462018.06.08KR16/136,6222018.09.20US
(51)Int.CI.
H01L23/498(20
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