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表l-l[1]
注人层牌号注入层名称注人层牌号注人层名称
-1静态离子束混合注人Cr-4动态离子束混合注人Ti
-2静态离子束混合注人Ta-5动态离子束混合注人Ta
-3动态离子束混合注人Cr
表1-2[1,2]
轰击剂量
厚度/束流密度离子能量
注人层牌号-4注人元素轰击离子/(离子数
10μm/(μA/cm2)/keV
/cm2)
1300CrN+2×10174〜5150
-2+3×1016
250TaXe3〜4200
-3500CrN+5×101710〜4050〜80
-4500TiN+5×101710〜4050〜80
-5500TaN+5×101710〜4050〜80
1.4使用工艺说明书Q/4B1467—1999《油泵柱塞及斜盘离子注人技术条件》。
1.5供应状态本工艺一般作为零件的最后一道加工工序，由用户提供合格零件委托生产厂家进
行离子注人处理。
1.6应用概况已经在发动机中、后轴承上和某型号发动机的燃油柱塞泵上试用，效果良
好。
1.7研制及生产单位发动机（）研制并生产。
1.8鉴定级别及日期“离子注人技术延长发动机轴承”已于
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