DB13_T 6141-2025 高纯度钨部件性能评价方法.pdfVIP

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CCSL90

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河北省地方标准

DB13/T6141—2025

高纯度钨部件性能评价方法

2025-05-27发布2025-06-03实施

河北省市场监督管理局发布

DB13/T6141—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由邯郸市市场监督管理局提出。

本文件起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八

研究所。

本文件主要起草人：王亚峰、彭立培、刘跃旭、薄林、裴佳莹、李丹丹、林坤、郑艺。

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DB13/T6141—2025

高纯度钨部件性能评价方法

1范围

本文件规定了半导体制造用高纯度钨部件化学成分、物理性能的评价方法，包括检测原理、试

剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于半导体制造用高纯度钨部件的金属杂质元素和物理性能的评价。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用

文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）

适用于本文件。

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

YS/T901高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4化学成分评价

原理

利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的分析方法。在GDMS的离子源中，辉

光等离子体光源的阴极是表面平整的待分析样品。在两极之间充入压力约为10Pa～1000Pa的惰性

气体（通常是氩气）。在高电压的作用下，惰性气体被电离，形成等离子体。这些等离子体中的电子

和正离子在电场作用下加速，撞击样品表面，使其发生溅射。溅射产生的样品原子进入等离子体中，

进一步离子化。这个过程在靠近样品表面的“阴极暗区”和靠近阳极的“负辉区”两个不同的区域

内进行，这使得基体效应大为降低。离子化的样品原子被送入质谱分析器进行分离和检测。

试剂或材料

除非另有说明，在分析中仅使用确认为优级纯的试剂。

——水：GB/T6682，一级。

——无水乙醇：密度为0.789g/mL。

——硝酸：含量不小于99.9%(质量分数)。

——氢氟酸：含量不小于99.9%(质量分数)

——背景监控样品：利用纯度不低于99.99%（质量分数）的钨样品或内部质控样品作为背景

监控样品，检背景空白。

——样品：钨含量不低于99.9999%（质量分数）。

——氮气：含量不小于99.99%(体积分数)。

——氩气：含量不小于99.999%(体积分数)。

仪器设备

辉光放电质谱仪：中分辨模式下质量分辨率大于3500，高分辨模