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1.工作简况
1.1任务来源
石墨是一种轻质的高熔点材料，适用于高温环境，价格便宜，在高温部件应用中具有
广泛的前景。在光伏及半导体产业的高温、腐蚀性工作环境应用中，石墨易与其他物质发
生反应，石墨的纯度和化学稳定性会直接影响到产品及性能，其应用受到限制。在石墨基
体上通过涂覆或沉积工艺制备陶瓷涂层，可以提高材料的硬度、耐磨性、耐腐蚀性、抗氧
化性和耐高温性能等。然而，陶瓷涂层与石墨基体存在热膨胀系数差异，并且陶瓷涂层石
墨基体作为结构件必须具有一定的尺寸精度和均匀性。因此，石墨基体
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