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2025年半导体设备研发:技术路线选择与产业升级动力参考模板
一、2025年半导体设备研发:技术路线选择与产业升级动力
1.1技术路线选择
1.1.1先进制程技术路线
1.1.2新材料、新工艺技术路线
1.1.3智能化、自动化技术路线
1.2产业升级动力
1.2.1政策支持
1.2.2企业主体作用
1.2.3市场需求
1.2.4人才培养
二、半导体设备研发的关键技术
2.1先进光刻技术
2.1.1EUV光刻技术
2.1.2纳米压印技术
2.2刻蚀技术
2.2.1干法刻蚀技术
2.2.2湿法刻蚀技术
2.3清洗技术
2.3.1超纯水清洗技术
2.3.2化学清洗
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