《热解氮化硼》征求意见稿.docx

3

T/XXXXXX—2025

热解氮化硼

1范围

本文件规定了热解氮化硼的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等内容。

本文件适用于采用化学气相沉积法制备的热解氮化硼制品，包括热解氮化硼涂层、热解氮化硼板材、热解氮化硼坩埚等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1409测量电气绝缘材料在工频、音频、高频（包括米波波长在内）下电容率和介质损耗因数的推荐方法

GB/T6408超硬磨料立方氮化硼

GB/T6609.3氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法钼蓝光度法测定二氧化硅含量

GB/T13980电离辐射密度计

GB/T19001质量管理体系要求

GB/T22588闪光法测量热导率或热扩散率

GB/T34003氮化硼中杂质元素测定方法

3术语和定义

GB/T5597及YS/T1031界定的及以下术语和定义适用于本文件。

3.1

热解氮化硼pyrolyticboronnitride

通过化学气相沉积法在加热基体表面分解硼和氮的化合物而形成的六方氮化硼晶体，具有高纯度、

高密度、各向异性等特点。

4技术要求

4.1外观质量

热解氮化硼产品表面应平整、光滑，无裂纹、气泡、夹杂等明显缺陷。涂层类产品应均匀附着在基体表面，无脱落现象。

4.2物理性能

4.2.1密度

热解氮化硼的密度应不低于2.1g/cm3。

4.2.2纯度

热解氮化硼中BN的含量应不低于99.0%，具体杂质含量应符合表1的规定。

表1热解氮化硼杂质含量要求

杂志元素

含量（质量分数）/%

T/XXXXXX—2025

4

Fe

≤0.01

Na

≤0.005

K

≤0.005

Ca

≤0.005

Mg

≤0.005

B2O3

≤0.5

4.2.3热导率

在室温（25℃)下，热解氮化硼沿沉积方向的热导率应不低于30W/(m?K)。

4.3化学性能

4.3.1耐酸碱性

热解氮化硼制品在常温下应能耐受浓度≤30%的盐酸、硫酸及氢氧化钠溶液的腐蚀，试验后表面无明显腐蚀痕迹，性能指标（如密度、纯度）变化幅度应≤5%。

4.3.2高温稳定性

在800℃空气中恒温2h后，热解氮化硼的质量损失率应≤0.5%，且外观无开裂、粉化现象，热导率保留率应≥90%。

4.4电学性能

4.4.1介电常数

在1MHz频率下，热解氮化硼的介电常数应不大于4.0。

4.4.2介质损耗因数

在1MHz频率下，热解氮化硼的介质损耗因数应不大于0.002。

5试验方法

5.1外观质量检验

采用目视检查的方法，在自然光或等效光源下观察热解氮化硼产品的表面质量，检查是否存在裂纹、气泡、夹杂等缺陷。涂层类产品还应检查其附着情况。

5.2密度测试

使用符合GB/T13980规定的密度计测试。

5.3纯度分析

本条目严格按照GB/T34003的相关规定执行。

5.4热传导测试

本条目严格按照GB/T22588的相关规定执行。

5.5化学性能试验方法

5.5.1耐酸碱性测试

5.5.1.1原理

通过将样品浸泡在特定浓度的酸/碱溶液中，观察表面腐蚀情况并测试性能变化，评估材料的耐腐蚀性。

5.5.1.2仪器与试剂

a）烧杯：500mL，若干；

b）盐酸（HCl）：分析纯，浓度30%；

c）硫酸（H2SO4）：分析纯，浓度30%；

d）氢氧化钠（NaOH）：分析纯，浓度30%；

T/XXXXXX—2025

5

e）超纯水：电阻率≥18.2MΩ?cm。

5.5.1.3试验步骤

具体步骤如下：

a）取3块尺寸为50mm×50mm×5mm的样品，用乙醇清洗干燥后称量初始质量m0，并记录外观状态；

b）将样品分别浸泡于30%盐酸、30%硫酸、30%氢氧化钠溶液中，液面高度需没过样品5cm，室温下静置48h；

c）取出样品，用超纯水反复冲洗至中性，干燥后称量质量m1，观察表面是否有腐蚀痕迹；

d）对试验后的样品进行密度和纯度测试（按5.2、5.3方法）。

5.5.1.4结果计算

a）质量损失率△m（%）按下列公式计算：

式中：

Δm-质量损失率；

m0-样品用乙醇清洗干燥后称量初始质量，单位为克；

m1-样品超纯水反复冲洗干燥后称量质量，单位为克。

b）性能指标变化率按下列公式计算：

试验后指标-试验前指标变化率=

试验后指标-试验前指标

试验前指标

5.5.2高温稳定