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利用TEM技术分析CoPtTa多层膜的微观结构和应力分布情况的研究
目录
利用TEM技术分析CoPtTa多层膜的微观结构和应力分布情况的研究（1）
一、文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
研究背景及意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1CoPtTa多层膜的应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2TEM技术在材料研究中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
研究目的与任务．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.1明确研究目标和任务．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
2.2研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
二、CoPtTa多层膜的制备与表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
材料制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.1制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
1.2样品准备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
材料表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
2.1X射线衍射分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.2原子力显微镜观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
三、利用TEM技术分析CoPtTa多层膜的微观结构．．．．．．．．．．．．．．．．．25
TEM技术原理及实验方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
1.1TEM技术简介．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
1.2实验设备与步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
CoPtTa多层膜的微观结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.1微观形貌观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
2.2晶体结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32
2.3界面结构研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
四、CoPtTa多层膜的应力分布情况研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
应力分布理论分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
1.1应力产生机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
1.2应力分布理论模型．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
实验分析CoPtTa多层膜的应力分布．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.1基于TEM的应力分析方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.2应力分布实验结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
五、结果与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
微观结构分析结果讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
应力分布结果分析讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
利用TEM技术分析CoPtTa多层膜的微观结构和应力分布情况的研究（2）
内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
1.2研究目的与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
1.3研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
实验材料与
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