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PVD工程科防错周考试题及答案
1、设备报警导致Q-TIME超时严重Lot，Dep前追加（）次USCClean？
A、1
B、2
C、3
D、4
E、5(正确答案)
答案解析：设备报警导致Q-TIME超时严重Lot，Dep前追加5次USCClean
2、USCGlassBroken时，复机前无需进行凹点Transfer监控确认凹点情况。*
A、正确
B、错误(正确答案)
答案解析：USCGlassBroken时，复机前需进行凹点Transfer监控确认凹点情况。
3、碎片处理时若途经USC单元，需要检查USC清洗头有无吸附Glass碎片。*
A、正确(正确答案)
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