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2025光刻机行业发展历程、市场格局及国内供应链厂商梳理分析报告.pdf

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    2025年深度行业分析研究报告

    内容目录

    1、光刻工艺：芯片制造技术难度最大环节5

    2、光刻机部件：光源、照明系统、投影物镜为核心组件12

    3、光刻机市场：ASML、Nikon、佳能垄断25

    3.1光刻机发展历程：步进扫描投影式光刻机为当前主流机型25

    3.2千亿级市场，海外三强垄断28

    4、国内供应链厂商梳理33

    4.1上海微电子：国内光刻机整机制造厂商33

    4.2国科精密：专注高端曝光光学系统制造33

    4.3科益虹源：DUV光源制造商34

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