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电池分厂根本知识培训

2013.2

LU’AN

SOLAR

主要内容

一、电池分厂根本介绍

二、太阳能电池片生产流程

三、各工艺段工艺、危险源及可能发生事故根本介绍

四、外来人员进入车间平安须知

电池分厂根本介绍

电池分厂是山西潞安太阳能科技有限责任公司的电池片生产车间，生产工艺段涉及来料硅片检测、清洗制绒、扩散制结、激光刻槽、去PSG、PECVD及丝网印刷各工艺段，所用化学品涉及到HF、HNO3、HCL、KOH等各种酸碱以及SiH4、NH3等特气化学品。在电池片生产过程中，还需要供电、动力、给水、排水、暖通、真空、特汽等外围设施。

太阳能电池片生产流程

硅片检测〔WHQ〕

目的：

硅片检测的检测设备由TTV和相机组成，主要对来料硅片的TTV〔总厚度偏差〕、厚度、电阻率及硅片位置、几何尺寸、外观轮廓、外表质量等外观特性进行检测。

危险源及平安本卷须知：

硅片检测整个过程不涉及危险化学品，但由于要直接接触硅片，所以要戴好手套、口罩。以防止过多硅粉进入呼吸道。另外检测时会产生大量碎片，清理碎片时，要戴好防护眼镜或者防护面罩。

清洗制绒

目的：

清洗制绒是通过各种化学品的反响在硅片上形成减反射的绒面织构，入射光在电池外表屡次反射延长了光程，增加对红外光子的吸收，增强电池片对光线的吸收能力，从而提高电池片的转换效率。

危险源及平安本卷须知：

清洗制绒涉及到的化学品有氢氟酸、硝酸、盐酸、氢氧化钾、异丙醇〔IPA〕。

在电池片制造过程中氢氟酸是最危险的化学品。

氢氟酸不同于其他种类的酸：

清洗制绒

-HF会结合体内的钙镁离子形成不溶性的盐。

-HF渗透性强，极易被皮肤吸收。

-浓度≥49%，7ml的HF能结合面积为160cm2的

皮肤中的钙和镁。〔见图片〕

在进行不同的作业时，应根据实际需要穿戴好防化服、防酸碱手套、防护眼镜、防护面罩等各种相应的防护用品。

可能发生的事故：

1、酸碱灼伤事故

2、酸碱泄漏事故

事故一旦发生，迅速按照《电池分厂现场处置方案》进行现场处置。

扩散制结

目的：

利用POCl3和O2在高温下〔600℃〕反响，在P型硅片外表扩散磷原子，最终形成PN结。

危险源及平安本卷须知：

扩散制结涉及到的危险化学品为三氯氧磷，其为无色透明带刺激性臭味的液体，在潮湿空气中剧烈发烟，分解成磷酸和氯化氢；遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸；对很多金属材料，尤其是潮湿空气条件下有腐蚀性。

可能发生事故：

三氯氧磷泄漏事故

事故一旦发生，迅速按照《电池分厂现场处置方案》进行现场处置。

激光刻蚀

目的：

激光刻蚀的主要目的是利用激光的能量选择性的改变硅片的方块电阻，从而在电池片Finger和Busbar处实现重掺杂，由此可减少金属电极与硅的接触电阻，使得短路电流、开路电压和填充因子都得到较好的改善，进而提高转换效率；在电极之间实现轻掺杂，降低少数载流子的体复合几率，且可以进行较好的外表钝化，降低少数载流子的外表复合几率，从而减小电池的反向饱和电流，提高电池的开路电压Voc和短路电流Isc，最终提高太阳能电池片的转换效率。

危险源及平安本卷须知：

激光灼伤事故

车间配有防激光眼镜，操作人员应准确佩戴。一旦发生事故，及时上报就医。

去磷硅玻璃

目的：

采用HF去除扩散工艺中在硅片表层的含磷的二氧化硅〔磷硅玻璃〕；清洗结束后，硅片颜色显示为扩散前硅片的灰白色。

危险源及平安本卷须知：

去磷硅玻璃涉及到的危险化学品为氢氟酸

可能发生事故：

1、氢氟酸灼伤事故

2、氢氟酸泄漏事故

事故一旦发生，迅速按照《电池分厂现场处置方案》进行现场处置。

PECVD〔等离子体化学气相沉积法〕

目的：

利用低温等离子体作能量源，将硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反响气体SiH4和NH3，气体经一系列化学反响和等离子体反响，在样品外表形成固态薄膜即氮化硅薄膜。利用薄膜干预原理，可以使光的反射大为减少，电池的短路电流和输出就有很大增加，效率也有相当的提高。