基于MEMS的梯形结构电热微泵的设计与分析.docxVIP

下载本文档

9
0
约4.26千字
约 9页
2025-01-28 发布于北京
举报
版权申诉

基于MEMS的梯形结构电热微泵的设计与分析.docx

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

基于MEMS的梯形结构电热微泵的设计与分析

一、引言

随着微纳技术的发展，微泵作为微流控系统中的关键部件，在生物医学、化学分析、环境监测等领域有着广泛的应用。电热微泵是其中的一种重要类型，具有结构简单、响应速度快等优点。近年来，基于MEMS（微电子机械系统）技术的电热微泵因其体积小、性能稳定等特点备受关注。本文设计了一种基于MEMS的梯形结构电热微泵，并通过仿真和实验验证了其性能。

二、电热微泵的设计

（一）梯形结构设计

本设计采用梯形结构作为电热微泵的主体结构。梯形结构具有较好的机械强度和稳定性，能够承受较大的压力和变形。同时，梯形结构在空间上具有较高的利用率，有利于减小微泵的体积和重量。