GB/T 44926-2024纳米技术　微区表面及亚表面表征　光学暗场共焦显微法.pdf

ICS17.040.30

CCSN51

中华人民共和国国家标准

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GBT449262024

纳米技术微区表面及亚表面表征

光学暗场共焦显微法

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NanotechnoloiesCharacterizationofmicrosurfaceandsubsurface

g

Oticaldark-fieldconfocalmicrosco

ppy

2024-12-31发布2025-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT449262024

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4原理………………………2

5设备配置及测量条件……………………4

6测量步骤…………………4

7数据处理…………………5

8结果表征…………………6

9影响表征结果的因素……………………6

10测试报告…………………7

()……………………

附录规范性暗场散射共焦模块

A8

()………

附录资料性光学暗场共焦显微镜测量结果倾斜矫正方法

B9

()…………

附录资料性光学暗场共焦显微镜亚表面测量介质校正系数计算方法

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