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电化学放电铣削加工玻璃微槽实验研究.docx

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    摘要

    绝缘硬脆材料具有绝缘性好，耐腐蚀，耐高温等特点，因其本身硬脆的特性，在传统的加工工艺下的细微加工十分困难，机械加工性能较差，使其无法满足精密微细加工的精度要求。在微机电系统领域，因绝缘硬脆材料微细加工加工性能差，而使得器件精度，性能受到不同程度的影响。目前电解电火花加工是一种针对玻璃等绝缘硬脆材料的加工方法。电解电火花加工在微细加工领域极具优势。电解电火花加工技术具有加工效率高，柔性好，成本低等特点，但对于一些大规模应用上，在精度等方面与要求仍存在一定的偏差。

    因此，本文首先调研探讨玻璃等非导电硬脆材料的应用，并且了解

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