真空技术基础试卷-A.pdfVIP

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南京邮电大学2010/2011学年第二学期

《真空技术基础》期末试卷A

院(系)班级学号姓名

题号一二三四五六七八九十总分

得分

遵装得分一、说明什么是真空状态及其特点(10分)

线

则内

考要

,答

不题

得分二、什么是溅射现象,并举两例说明其在真空技术中的应用(10

分)

《真空技术基础》试卷第1页共4页

得分三、指出图中机械泵的有害空间区域,并说明对机械泵极限真空的

影响(12分)

得分四、讲解压缩真空计的工作原理(18分)

《真空技术基础》试卷第2页共4页

得分五、一台真空镀膜机,真空蒸发室出口处的有效抽速为100升每秒,

-5

要求蒸发室具有1x10Torr的真空度,求此镀膜机的最大允许漏

率。(20分)

得分六、绘制一个具有预抽气设置的高真空系统示意图,并指出在预抽

时真空阀门的开关位置(30分)

《真空技术基础》试卷第3页共4页

遵装

线

则内

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