柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN107034452A

(43)申请公布日2017.08.11

(21)申请号CN201710281202.1

(22)申请日2017.04.26

(71)申请人长春理工大学

地址130022吉林省长春市朝阳区卫星路7089号

(72)发明人徐铭泽王洋李金华楚学影金芳军徐英明魏志鹏方铉王晓华

(74)专利代理机构长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)

代理人陶尊新

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的

化学制作方法

(57)摘要

柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的

化学制作方法属于光电器件制作技术领

域。现有物理方法制作成本高。本发明其

特征在于：步骤1，配制可旋涂溶胶，在

室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加

入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮

及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔

比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量

按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为

1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；步骤

2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴

加在柔性衬底上，在3000～3500rad/min的

速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下

加热10～15m，获得溶胶膜；步骤3，形

成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃

温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型

ZnO基透明导电薄膜。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,其特征在于:

步骤1,配制可旋涂溶胶,在室温及搅拌工艺条件下,在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸

锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质,其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为

(4.7~5):(2.8~3),掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1~3%而

定,至此获得可旋涂溶胶;

步骤2,制作溶胶膜,将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上,在3000~3500rad/min

的速度下旋涂20~30s,在70~90°C温度下加热10~15m,获得溶胶膜;

步骤3,形成产物薄膜,将所述溶胶膜在240~260°C温度下退火25~35m,获得柔性掺

杂型ZnO基透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,其特征

在于,所述有机溶剂为乙二醇甲醚或者乙醇。

3.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,其特征

在于,所述掺杂物质为硝酸铝或者氟化铵。

4.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,其特征

在于,所述柔性衬底为耐高温PET膜。

5.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,其特征

在于,以所述步骤2获得的溶胶膜作为第1层溶胶涂层,再在第1层溶胶涂层上均匀

滴加可旋涂溶胶,在与步骤2相同条件下旋涂、加热,获得第2层溶胶涂层,重复所述

滴加、旋涂和加热工艺环节,获得由3~4层溶胶涂层叠加而成的多层溶胶膜。

6.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,其特征

在于,在所述步骤3之后,步骤2、步骤3再重复2~3次,获得包含9~16层溶胶层的加

厚柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。

说明书

p技术领域

本发明涉及一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法,属于光电器件制

作技术领域。

背景技术

在化学制作方法中,有一种溶胶凝胶法被用来在刚性衬底上制作ZnO基透明导电薄

膜,主要制作步骤是先将乙酸锌的乙醇溶液