09 叶继春-PECVD 技术在高效 TOPCon 晶硅太阳电池的应用研究.pdf

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2021年中国太阳级硅及光伏发电研讨会

PECVD技术在高效TOPCon晶硅太阳电池

的应用研究

叶继春研究员

中国科学院宁波材料技术与工程研究所

2021年12月7日

中国苏州

1

报告提纲

一、TOPCon技术发展现状及存在不足

二、量产TOPCon技术发展的思考

三、PECVD在概念验证技术的研究进展

四、管式PECVD研究进展

五、科研团队介绍

六、总结及展望

2

快速发展的光伏产业

求需家国太阳能光伏发电发展迅速,已超过风能,发展成为最具竞争力的可再生能源。

未来2-4年,晶体硅光伏发电将在中国范围内分区域、分层次地逐步实现平价

上网,是中国实现“碳达峰和碳中和”的重要途径,具有重要的战略意义。

发展特点:

安装量迅速攀升(2020年累安装达

~760GW)

组件价格快速降低(安装每增加一倍,

价格降低40%)

晶硅技术占绝对主导市场(~95%)

效率提升和成本降低是行业永恒的发展

目标

3Source:ITRPV2021135GWp/0.21US$/Wp

硅电池技术发展趋势

TOPCon(产业23.5%-24.5%),极限:25%

产业化硅电池技术发展趋势

PERC(产业22.5%-23.1%)

极限:~23.5%

PERC是当前主流技术,问题:背面电极和硅

直接接触,影响效率进一步提升,极限效率为

Source:ITRPV2020~23.5%,

钝化接触技术即可有效钝化界面,又可有效收

集载流子,是高效晶硅太阳电池的发展方向

SHJ(产业23.5%-24.5%),极限:25%

钝化接触技术通常有2大类别:TOPCon,SHJ

4

TOPCon电池技术介绍

TunnelOxidePassivatedContact(TOPCon)

隧穿氧化硅钝化接触技术

n型硅片

扩散掺杂层

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