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2021年中国太阳级硅及光伏发电研讨会
PECVD技术在高效TOPCon晶硅太阳电池
的应用研究
叶继春研究员
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
2021年12月7日
中国苏州
1
报告提纲
一、TOPCon技术发展现状及存在不足
二、量产TOPCon技术发展的思考
三、PECVD在概念验证技术的研究进展
四、管式PECVD研究进展
五、科研团队介绍
六、总结及展望
2
快速发展的光伏产业
求需家国太阳能光伏发电发展迅速,已超过风能,发展成为最具竞争力的可再生能源。
未来2-4年,晶体硅光伏发电将在中国范围内分区域、分层次地逐步实现平价
上网,是中国实现“碳达峰和碳中和”的重要途径,具有重要的战略意义。
发展特点:
安装量迅速攀升(2020年累安装达
~760GW)
组件价格快速降低(安装每增加一倍,
价格降低40%)
晶硅技术占绝对主导市场(~95%)
效率提升和成本降低是行业永恒的发展
目标
3Source:ITRPV2021135GWp/0.21US$/Wp
硅电池技术发展趋势
TOPCon(产业23.5%-24.5%),极限:25%
产业化硅电池技术发展趋势
PERC(产业22.5%-23.1%)
极限:~23.5%
PERC是当前主流技术,问题:背面电极和硅
直接接触,影响效率进一步提升,极限效率为
Source:ITRPV2020~23.5%,
钝化接触技术即可有效钝化界面,又可有效收
集载流子,是高效晶硅太阳电池的发展方向
SHJ(产业23.5%-24.5%),极限:25%
钝化接触技术通常有2大类别:TOPCon,SHJ
4
TOPCon电池技术介绍
TunnelOxidePassivatedContact(TOPCon)
隧穿氧化硅钝化接触技术
n型硅片
扩散掺杂层
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