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摘要
摘要
题目：基于Zernike级数的透镜振动分析及其对面形影响研究
以光刻投影物镜为代表的精密光学系统设计是综合了光学、力学等分析的协同设计
过程。在光刻机的工作过程中，投影物镜受自身或外部影响产生微振动，这种振动不仅
对镜片面形产生影响，而且使光学元件之间产生相对运动，引发像移。本文将从力学角
度出发，对镜片进行振动分析，探究激励对镜片成像的影响，并用Zernike系数来评价
成像质量。
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