ST-21型方块电阻测试仪说明书用户手册.pdf

深圳市君达时代仪器有限公司

ST-21型方块电阻测试仪

ST-21型方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准，专门测量半导体薄层电

阻(表面电阻)的新型仪器，可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜)，金属薄膜……等

同类物质的薄层电阻。

该仪器以大规模集成电路为主要核心；用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源；带回路有效正常指

示电路；并配以大型LCD显示读数，使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精

度高的特点。

1采用大规模集成电路作为仪器的主要部分，测量准确稳定，低功耗；

2以大屏幕LCD显示读数，直观清晰；

3采用单个电池供电，带电池欠压指示；

4体积≤175mmX90mmX42mm，重量≤300g；

5特制之手握式探笔，球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜

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地址：深圳市龙华区龙华街道油松社区东环二路号企生活人工智能华盛园栋三层

电话：0755请浏览公司网站:邮箱：sui@

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6探头带抗静电模块

按方块电阻量值大小分为二个量程档：

1.方块电阻1.00～199.99Ω/□；

测量范围

2.方块电阻10.0～1999.9Ω/□；

最小分辨率：0.01Ω/□

恒流源测量过程误差：≤±0.8%

量程：0～199.99mv；

模数转换器分辨率：10μv；

方式：LCD大屏幕显示；极性，超量程均自动显示；小数点同步显示；

测量不确定度在整个量程范围内，测量不确定度≤5%

四探针探头规格间距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；绝缘电阻≥500MΩ

电源9V叠层电池1节

◆ST-21方块电阻测试仪可选配HP系列四探针探头的型号及规格：

型号曲率半径压力探针间距探针排列

(Model)(Radius)(loads)(spacing)(Arrangement)

HP-5010.5mm100g3.8mm直线

HP-5020.75mm100g3.8mm直线

HP-5030.1mm150g1mm直线

HP-5040.5mm100g1.59mm直线

◆ST-21方块电阻测试仪可选配SP-601型方型四探针探头的型号及规格：

型号曲率半径压力探针间距探针排列

(Model)(Radius)(loads)(spacing)(Arrangement)

SP-6010.5mm100g1.59mm方形

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