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二极管扩散片硼扩散液态源配方

1范围

本文件规定了二极管扩散片硼扩散液态源配方的术语和定义、试剂和材料、仪器和设备、三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制、硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制和硼扩散液态源配制等内容。

本文件适用于二极管扩散片硼扩散液态源的配制。2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。3.1

二极管扩散片diodediffusers

二极管产品的半成品，是单晶硅经过扩散工艺后就形成了二极管扩散片。其经过后续再加工形成二极管芯片，经过封装形成二极管成品。

注：本标准中的二极管指的是整流二极管。

4试剂和材料

除另有说明外，所用试剂均为分析纯或电子级。

a)乙二醇乙醚（C44H10O2）；

b)三氧化二硼（B2O3）；

c)硝酸铝（Al(NO3)3）；

d)氧化铝（Al2O3）。

5仪器和设备

a)电子秤：感量0.01g；

b)量筒（250mL）；

c)搅拌器；

d)滤纸；

e)磨口瓶（400mL和800mL）。

6三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制

6.1配制比例

2

三氧化二硼：乙二醇乙醚=120g：400mL。

6.2配制过程

6.2.1用800mL磨口瓶垫滤纸放在搅拌器上，倒入乙二醇乙醚后开启搅拌器，可见瓶中心出现旋涡，如图1中a）所示。

6.2.2称三氧化二硼时电子秤应显示为0，如图1中b)所示。将滤纸放上后，进行“去皮”，称出配比所需的三氧化二硼后，贴磨口瓶边缘缓慢倒入，如图1中c)所示。填写记录表，记录配制时间和人员，见附录A。

注：电子称误差±0.01以内，电子秤平衡珠应在正中心。

6.2.3磨口瓶盖半盖，如图1中d）所示。待瓶身不烫手后盖上瓶盖，搅拌6小时后关闭搅拌器，将三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液密封,如图1中e）所示，并记录搅拌时间。密封后，保质期为30天，使用前应用滤纸过滤。

注：三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液使用前应沉淀6小时以上，方可使用。

a)b)c)

d)e)图1三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制

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7硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制

7.1配制比例

硝酸铝：乙二醇乙醚=5g：50mL。

7.2配制过程

7.2.1将磨口瓶下垫滤纸放在搅拌器上，倒入乙二醇乙醚后开启搅拌器，如图2中a）所示。

7.2.2称好硝酸铝后，贴磨口瓶边缓慢倒入，并记录配置时间和人员，如图2中b）所示。

7.2.3磨口瓶盖半盖，如图2中c）所示。待瓶身不烫手后盖上瓶盖，搅拌1小时后关闭搅拌器，将硝酸铝/乙二醇乙醚溶液密封，并记录搅拌时间。密封后，保质期为10天，使用前应用滤纸过滤。

注：硝酸铝/乙二醇乙醚溶液使用前应沉淀1小时后方可使用。

a)

c)

b)

d)

图2硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制

8硼扩散液态源配制

8.1配制比例

4

三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液：硝酸铝/乙二醇乙醚溶液：氧化铝粉=50mL:6mL:2g。

8.2配制过程

8.2.1将磨口瓶放在搅拌器上，量取已经过滤好的三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液和硝酸铝/乙二醇乙醚溶液（刻度为平视刻度，并需两人确认），缓慢倒入磨口瓶内（烘干量筒），打开搅拌器，然后倒入称量好的氧化铝粉（4N:5N=1：3），盖上瓶盖，搅拌10～15分钟后使用，如图3所示。

8.2.2配置完的硼扩散液态源应在12小时内用完，且使用过程中应一直处于搅拌状态。

图3硼扩散液态源配制

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附录A（规范性附录）

附源工序硼源配制记录表

表A.1附源工序硼源配制记录表

编号：NO.

日期

时间

硼液日期

源类型

源比例

配制源量

作业人