华中科技大学在SiC封装领域相关研究成果.docx

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华中科技大学在SiC封装领域相关研究成果

sic

康勇

l针对封装集成面临的关键挑战以及未来发展目标,华中科技大学开展封装集成关键技术研究,以突破碳化硅功率器件性能参数

l相关成果支撑新能源、航空航天等领域关键装备性能的提升

研究内容1:多层基板低感封装

l提出多层基板结构优化技术,将模块寄生电感降低至1nH,充分发挥碳化硅器件高速优势

l提出芯片嵌入式多层基板封装技术,降低多层基板封装热阻

研究内容2:高可靠铜夹互连封装

提出铜夹材料及结构优化技术,实现低感低热阻铜夹互连功率模块,突破现有铜夹互连封装性能参数

研究内容3:芯片双面基板互接封装

l提出双面基板互连封装的多回路布局结构,实现2nH以下的寄生电感

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