GB/T 44687-2024超硬磨料制品　半导体晶圆精密磨削用砂轮.pdf

ICS25.100.70

CCSJ43

中华人民共和国国家标准

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GBT446872024

超硬磨料制品

半导体晶圆精密磨削用砂轮

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SuerabrasiveroductsPrecisionrindinwheelsforsemiconductorwafers

ppgg

2024-09-29发布2025-04-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT446872024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4产品分类…………………1

(“”)………

4.1晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮以下简称为倒角砂轮1

(“”)………

4.2晶圆端面减薄精密磨削用砂轮以下简称为减薄砂轮3

5产品标记…………………12

5.1倒角砂轮……………12

5.2减薄砂轮……………12

6技术要求…………………12

6.1外观…………………12

6.2基本尺寸极限偏差…………………13

6.3几何公差……………15

6.4基体粗糙度…………………………15

6.5动平衡………………15

6.6回转强度……………15

7试验方法…………………15

7.1外观…………………15

7.2基本尺寸……………16

7.3几何