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行业标准《三氯化镓》

编制说明

（讨论稿）

标准编制组

2024年7月29日

工作简况

立项目的与意义

在《“十四五”原材料工业发展规划》中，促进产业供给高端化是关键战略之一，特别是在突破关键材料领域，宽禁带半导体及显示材料的开发和应用被明确提及。三氯化镓作为一种优质的半导体原材料，其重要性不言而喻。它主要用于合成MO源（高纯金属有机化合物），广泛应用于光电子工业和微波通信工业，包括制造微波通讯与微波集成、红外光学与红外探测器件、集成电路、LED等。

鉴于LED光源的高光效、低能耗和长寿命特性，国际上对LED产业的发展给予了极大的重视。目前三氯化镓全球需求量约为150吨/年。中国在这一领域已经取得显著进展，2022年我国产量约54吨，产值达到8000万人民币，其中出口量约48吨，占总产量的88%。国内主要客户包括乾照光电、亚格盛电子、承鸣光电等，三氯化镓在这些企业的合成镓系列金属有机化合物方面均有着重要应用。随着新型显示技术如MiniLED、MicroLED的快速发展，预计未来三氯化镓的市场需求将大幅增长，有望突破1000吨/年，对应产值数十亿人民币。

目前使用三氯化镓合成MO源主要为国外厂商，国产MO源厂商普遍使用合金法，相较于合金法，使用三氯化镓合成路线具有成本低、制程短、产能高等优势，随着MO源行业竞争加剧，以三氯化镓合成MO源替代合金法会逐渐成为趋势。三氯化镓基本采用金属镓与氯气反应的工艺路线，技术路线已经稳定。但三氯化镓生产商与客户对接只能使用客户标准，缺少权威的国家和行业标准，不利于产品推广和产商的良性竞争。本标准的制定填补了国内高纯三氯化镓产品标准的空白，制定过程中结合客户端SPC管控要求和长期的产品使用反馈去设置指标，该指完全标满足目前半导体行业MO源的使用需求，对后续进入本领域的国内企业有指导意义。

意义与必要性：

促进产业协同：制定统一的三氯化镓标准，有助于上下游企业在生产、测试、包装、运输等环节实现有效协同，提升整个产业链的效率和响应速度。

提升产品质量：通过明确的技术要求，确保三氯化镓产品能够满足高端新材料生产的严格标准，增强产品在全球市场的竞争力。

适应市场需求：随着战略新兴产业对高端新材料需求的变化，标准化工作将确保企业能够及时调整产品，满足技术进步和市场动态的双重需求。

推动产业升级实现内循环价值：标准化是推动产业链技术进步和产业升级的重要手段，有助于促进中国内循环的健康可持续发展，提升产业链的技术自主可控性。

综上所述，制定《三氯化镓》的标准不仅是产业发展的内在要求，也是国家战略利益的体现。通过标准化，可以确保产业链的稳定性和竞争力，同时也为应对国际政治经济形势的变化提供了坚实的基础。

2、任务来源

根据工业和信息化部《半材标委[2024]11号-2024年转发第一批半导体材料标准计划项目》（工信厅科[2024]18号2024-0075T-YS）的要求，行业标准《三氯化镓》项目由广东先导微电子科技有限公司牵头起草。

3、主要参加单位和工作成员及其所做的工作

主要参与单位：广东先导微电子科技有限公司、北大东莞光电研究院、广西德保镓业有限公司、株洲炬鑫新材料有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司

3.1项目牵头单位情况

广东先导微电子科技有限公司（以下简称“微电子公司”），前身为广东先导先进材料股份有限公司，于2020年9月在整合先导集团高纯材料、金属有机化合物和特气产线的基础上成立。坐落于清远市国家级高新区的微电子公司，是集砷化镓、锗、磷化铟等半导体及相关高纯材料研发、生产、销售及回收于一体的综合科技企业。其产品广泛应用于光电材料、集成电路(IC)、太阳能等领域，并成功打入国内外市场，包括中东、东南亚以及欧美地区。

微电子公司已通过ISO9001、ISO14001、ISO45001、IATF16949和GB/T29490等多项管理体系认证，体现了其对品质管理的严格要求。公司拥有超过800名员工，其中科技人员达230人，本科以上学历者180人，占总员工数的22%。此外，公司还聘请了多名外籍专家担任长期技术顾问，确保了技术研发的国际视野与前瞻性。自公司成立以来，年研发投入占比均超过6%，并呈逐年上升趋势。

凭借先导科技集团下属的“国家稀散金属工程技术研究中心”、“国家级企业技术中心”、“博士后科研工作站（国家级）”以及“CNAS17025国家认可实验室”，加之公司自建的“广东省光电材料工程技术中心”和“广东省企业技术中心”，微电子公司在新产品研发与生产方面拥有强大的实力和技术积累。

为保障产品质量，公司配备了全面的检测分析设备，如扫描电镜、粗糙度仪、椭偏仪、光致发光成像(PL-Mapping)、霍尔效应测试仪、测平仪、K