硼扩散检验指导书.docVIP

准备

选用干净合格的白色细纱手套〔或一次性手套、乳胶手套〕

工具：镊子、产品流转盒、显微镜、千分尺

操作步骤和方法、检测条件

确认所检流转品是否与产品流程卡标示规格、数据相符；

仔细阅读随附的‘工艺随工单’相关内容要求，确定硅片加工是否与工艺相符；

仔细阅读产品流程卡相关要求内容，确认是否按要求填写产品流程卡；

按‘检验卡片’要求内容实施硅片的检验；

周期:不定期核查接片日期、交片日期、工艺记录，确定硅片在工序的存留时间;

使用游标卡尺或直尺测试硅片直径，使用千分尺测试硅片厚度，确定硅片是否符合工艺卡或流程卡记录内容，确定所检产品中存在混批。

对于崩边硅片，使用游标卡尺或直尺测试硅片直径，使用千分尺测试硅片厚度，确定硅片的崩边程度；

外观检验：

检查区域：有效芯片直径范围内阴、阳极面；

硅片外表目测：应戴好细纱手套、一次性手套或乳胶手套，正常照明情况下，逐片检查外表状态

对目测外表较差的硅片，在显微镜下进行抽检，如果存在较严重的外表质量问题时，必须全部使用显微镜检验；

参数检测：

结深检测：按扩散结深测试作业指导书要求操作进行；

方块电阻检验：用四探针测试仪测试，每陪片由四边缘至中间检查5∽6个不同点、取每陪片中间值，然后记录其陪片的最小最大测试值；

均匀性检验：用四探针测试仪测试，每陪片由四边缘至中间检查5∽6个不同点、取每陪片的最大、最小值。

分散性检验：用四探针测试仪测试，每陪片由四边缘至中间检查5∽6个不同点、取陪片平均值的最大、最小值。

导电类型检测：

抽取试片用HF泡掉氧化层，去离子水冲洗，滤纸吸干，用热探针测导电类型；

阳极面、阴极面门极、放大门极、短路点、短路环均为P型，其余为N型；

当出现掩蔽异常时，必须加倍抽测数量。

认真清查片数，填好检验记录。同时在工艺卡上标明：接片数、合格数、不良品数(分类)、破片数、检验人、检验日期。其中接片数=合格数+不良品数+破片数。

不合格品：按“不合格品的控制程序”处理

将检验合格的硅片分批装入包装盒内；

按要求正确填写产品流程卡、检验记录

将硅片及产品流程卡移交硅片库，并确认。

考前须知

检验过程中，严禁直接用手接触硅片；严禁有使硅片发生碰撞的行为；

方块电阻和结深检测记录完整、准确；当出现不可确定的参数数据时，必须增加检测;

测试导电类型时,应全面测试阳极面,阴极面边缘,阴极面门极,放大门极,短路点,短路环;当硅片外表和导电类型出现异常时,应及时报告主任工程师;

常见问题及解决方法

不合品的分类及处理权限

不合格项

处理

判定权限

延期

通报车间主任

检验员级

混批、外表差

通报工程师、分类监控下交

检验员级

破片

报废/降级处理

检验员级

崩边

降级处理

工程师级

缺陷

将不良品隔离存放、局部可降级下交

工程师级

粘片

报废/降级处理、将不良品隔离存放

工程师级

返工

返工处理

检验员级

参数检验

结深超差、Rs2超差时

按扩散参数检验标准要求执行

检验员级

结深超差、Rs2超差返工率大于5%时

通报工程师、监控检查

工程师级

均匀性差、分散性大时

通报工程师、分类监控下交

工程师级

外表反型

阳极面局部反型大于10%

经打毛处理后，监控下交

工程师级

阳极面局部反型小于10%

明确标示、监控下交

工程师级

阴极面反型

视具体情况而定

工程师级

合格率超标

检验不合格率批次大于2%

监控检查

工程师级

合格率下降小于10%时

监控下交

工程师级

合格率下降大于等于10%时

批准下交

主任工程师级

相关文件和质量记录单

扩散参数检验标准

扩散结深测试检验指导书

D41-11ZM微控四控针测试仪设备操作规程

四控针测试仪操作规程(M－70)

‘磷扩散检验记录’

检验卡片

序号

检验内容及技术要求

检验

方法

抽样

方法

不合格质量类别

合格判据

周期

查交接

100%

延期

≤2天

硅片直径、厚度：应符合工艺卡规定尺寸

检测、目视

100%

混批

100%合格

外观检验

硅片无破损、无裂纹；有效直径大于投片芯片直径；

目测、检测

100%

破片

≤0.5%

崩边

径向崩边小于有效直径0.5

检测

100%

崩边

≤0.5%

轴向崩边小于有效直径1.0

崩边厚度小于有效直径1/5片厚

硅片：无划道、无桔皮状波纹、无变形

目测、检测

100%

缺陷

不合格率≤1.5%

硅片：无粘坑、坑点、合金斑点、腐蚀点

目测、检测

100%

粘片

不合格率≤1.5%

平整光亮、色泽一致、无粘连、无云雾状花纹

目测、检测

100%

外表差

不合格率≤1%

外表干净、无污迹(不含化学药品)

目测、检测

100%

返工

100%合格

参数检验:

结深检测：取每一批陪片检测,测量值应符合《扩散参数检验标准》要求指标。

检测

1∽2片/炉

结深超差

抽检100%合格

方块电阻检测：取每一炉陪片