【英语版】国际标准 ISO 11952:2019 EN Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用 SPM 确定几何量：测量系统的校准.pdf

ISO11952:2019ENSurfacechemicalanalysis—Scanning-probemicroscopy—DeterminationofgeometricquantitiesusingSPM:Calibrationofmeasuringsystems是国际标准化组织发布的一项标准，专门用于表面化学分析中的扫描探针显微镜（SPM）几何量测定。该标准详细说明了如何使用SPM进行几何量的校准。

具体来说，该标准涉及了以下内容：

1.定义和术语：标准定义了与校准测量系统相关的术语和概念，以确保在所有情况下都能正确理解和使用。

2.校准系统：该标准详细说明了如何对扫描探针显微镜的测量系统进行校准，以确保其准确性。这包括确定适当的校准方法、选择适当的参考标准物质、进行校准步骤以及处理校准结果。

3.校准过程：标准提供了详细的校准过程，包括选择适当的参考点、确定扫描路径、进行扫描并获取数据、分析数据以确定测量系统的准确性。

4.结果处理：标准还提供了如何处理校准结果的方法，以确保测量系统的可靠性和一致性。这包括评估误差来源、进行数据分析和校准验证。

ISO11952:2019ENSurfacechemicalanalysis—Scanning-probemicroscopy—DeterminationofgeometricquantitiesusingSPM:Calibrationofmeasuringsystems提供了一个关于如何使用SPM进行几何量测定的全面指南，以及如何进行准确和可靠的校准过程。这对于科学研究、工业应用和质量控制等领域具有重要意义。