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中国电子级硅烷气行业发展现状及趋势分析

一、电子级硅烷气概述

电子级硅烷气是一种电子特种气体，主要由硅粉、氢气、四氯化硅、催化剂等经过反应、提纯生产的产品，其中纯度在6N以上的硅烷称为电子级硅烷气。德国化学家H.Buff于1857年发现了硅烷这一物质，但由于缺少实际的应用场景，在随后的100年左右的时间里，硅烷只是少数研究者在实验室里研究的对象，未有任何的商业化用途。到了20世纪50年代，随着半导体产业及光伏产业等新兴产业的蓬勃发展，硅烷的商用场景才被逐步打开。

二、发展背景

电子级硅烷气行业属于国家产业政策重点支持发展的高新技术产业之一。近年来，国家发改委、科技部、工信部和财政部等多部门相继印发了支持、规范电子级硅烷气行业的发展政策，内容涉及电子级硅烷气发展技术路线、电子级硅烷气制备项目安全运行规范等内容。

三、产业链

电子级硅烷气主要原材料包括硅粉、氢气、四氯化硅、催化剂等。这些原材料的纯度和质量对电子级硅烷气的最终产品质量具有决定性的影响。电子级硅烷气的生产需要高度的技术水平和严格的工艺流程控制。电子级硅烷气主要应用于半导体制造、太阳能电池、显示面板等领域。在半导体制造中，电子级硅烷气是外延沉积、氧化硅膜沉积和氮化硅膜沉积等工艺的关键原料。

四、电子级硅烷气行业发展现状

1、我国电子特气市场规模

特种气体主要包括电子特气、高纯气体以及标准气体，其中电子特气主要用于光伏、显示面板、新能源电池等领域。电子特气具有单位用量小、品质纯度要求高、包装储运要求高、单位价格高等特点。电子级硅烷气主要用于太阳能光伏电池、显示面板、新能源电池等领域，属于特种气体项下的电子特气。2023年我国电子特气整体市场规模约为269亿元，同比增长13%。

2、我国电子级硅烷气产量

随着硅烷应用领域的持续拓展，硅烷已逐步拓展到新能源电池等新兴领域。目前电子级硅烷气应用场景均以镀膜工艺为主，单位用量相对较小，而在新材料领域，电子级硅烷则被直接作为高纯度的硅源进行使用，单位用量将远大于传统领域的使用量，目前我国电子级硅烷气产量约为7986吨。

五、电子级硅烷气行业竞争格局

1、行业竞争格局

由于海外气体巨头发展历史较长、对电子特气的研发与商业化生产也较早，因而其所掌握的电子级硅烷气的生产工艺，在很长一段时间内遥遥领先于国内的气体公司。但随着我国整体工业水平的不断提高，以中宁硅业、硅烷科技、兴洋科技为代表的少量国内的气体公司陆续掌握了高纯度电子级硅烷气的生产工艺。

2、重点企业介绍

内蒙古兴洋科技股份有限公司是一家成立于2014年08月22日的高新技术企业，公司主要业务为电子级硅基材料的研发、生产和销售。投资4亿元，建成一期主产3000吨/年电子新材料硅烷、副产375吨/年太阳能级多晶硅项目。成功研发出六种芯片用高新硅基材料，并推动二期年产1200吨芯片用电子级高新硅基材料项目开工建设，三期年产8000吨电子级硅烷项目也在加紧办理前期手续。2023年全年，公司实现营业收入6.30亿元，同比增长50.91%。

六、电子级硅烷气行业发展趋势

1、下游需求持续扩张

电子级硅烷气主要用于显示面板、太阳能光伏领域的生产制造。光伏行业获益于国家“双碳政策”，在十四五规划期间发展空间巨大，行业整体规模预计实现翻倍。除了现有的下游市场需求持续扩大，近年来，需要使用电子级硅烷气的高科技应用还在不断涌现，如新能源电池等新兴领域。电子级硅烷气可通过化学气相沉积法用于制作新能源电池的硅基负极材料，随着传统石墨类负极生产企业、电池生产企业积极布局硅基负极材料的研发与生产，电子级硅烷气在硅基负极材料市场的需求量将迎来快速增长。

2、国产替代的深入

随着国内下游新兴产业的技术更迭和快速发展，国内特种气体的市场容量持续扩大，电子级硅烷气作为危险化学品，在产品包装、运输规范上有着严格的规定，相较于国外企业，国内电子级硅烷气企业的物流成本更低，供货更及时、灵活，产品价格也具有明显优势，因此，国产化是未来行业发展的必然趋势。