(高清版)-B-T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性.pdfVIP

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

GB/T33523.603—2022/ISO25178-603:2013

产品几何技术规范(GPS)

表面结构区域法

第603部分：非接触(相移干涉显微)式

仪器的标称特性

Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—

Part603:Nominalcharacteristicsofnon-contact(phase-shiftinginterferometric

microscopy)instruments

(ISO25178-603:2013,IDT)

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T33523.603—2022/ISO25178-603:2013

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4影响量的描述11

附录A(资料性)相移干涉(PSI)显微镜的组件14

附录B(资料性)相移干涉(PSI)显微镜的工作原理15

附录C(资料性)相移干涉(PSI)显微镜的误差和修正18

附录D(资料性)与GPS矩阵模型的关系21

参考文献22

I

GB/T33523.603—2022/ISO25178-603;2013

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件是GB/T33523《产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法》的第603部分。GB/T33523

已经发布了以下部分：

第1部分：表面结构的表示法；

第2部分：术语、定义及表面结构参数

——第3部分：规范操作集；

第6部分：表面结构测量方法的分类；

第70部分：实物测量标准；

第71部分：软件测量标准；

第72部分：XML文件格式x3p

第601部分：接触(触针)式仪器的标称特性

第602部分：非接触(共聚焦色差探针)式仪器的标称特性

第603部分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性

第604部分：非接触(相于扫描于涉)式仪器的标称特性

第605部分：非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性：

第606部分：非接触(变焦)式仪器的标称特性；

第701部分：接触(触针)式仪器的校准与测量标准。

ISO25178-603:2013(GPS)

本文件等同采用《产品几何技术规范表面结构区域法第603部

分：非接触(相移干涉显微)式仪器的标称