GB/T 14264-2024半导体材料术语.pdf

ICS29.045

CCSH80

中华人民共和国国家标准

/—

GBT142642024

代替/—

GBT142642009

半导体材料术语

Terminoloofsemiconductormaterials

gy

2024-04-25发布2024-11-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT142642024

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3一般术语…………………1

4材料制备与工艺…………………………33

5缺陷………………………38

6缩略语和简称……………47

索引…………………………50

Ⅰ

/—

GBT142642024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/—《》,/—,

本文件代替GBT142642009半导体材料术语与GBT142642009相比除结构调整和编

,:

辑性改动外主要技术变化如下

———“”();

增加了